组别 | 小组 | 学生 | 论文题目 | 指导 | 答辩专家 | 单位 | 职称 | 答辩 | 答辩 | |
答辩 | 1 | 邓喻滔 | 基于Nikon浸没式光刻机的光学邻近效应匹配的研究与应用 | 李晋湘/王颖 | 卢基存 | 浙江晶能微电子有限公司 | 正高 | 主席 | 2026/1/15 | 上海电机学院材料楼401 |
2 | 刘跃东 | 光刻工艺中的焦距异常现象分析及其优化研究 | 李晋湘/王颖 | 刘西洋 | 上海电机学院 | 副教授 | 委员 | |||
3 | 柳世乾 | 基于SiC MOSFET的可靠性与失效分析研究 | 李晋湘/王颖 | 赵素 | 上海电机学院 | 副教授 | 委员 | |||
4 | 倪添晟 | 基于6T SRAM失效分析方案的研究与应用 | 李晋湘/王颖 | 丁春艳 | 上海电机学院 | 副教授 | 委员 | |||
5 | 王梦林 | 基于离线工艺优化与先进过程控制的光刻CD均匀性提升方法研究 | 李晋湘/王颖 | 童丽萍 | 上海电机学院 | 讲师 | 委员 | |||
6 | 季桂甲 | 集成电路中浅沟槽隔离平坦化工艺的研究与优化 | 李晋湘/马冰洋 | |||||||
7 | 严凯歌 | Nikon浸没式光刻机套刻精度校正的研究与应用 | 李晋湘/马冰洋 | 左玲玲 | 浙江晶能微电子有限公司 | 中级 | 秘书 | |||
8 | 李梦雷 | 基于HDPCVD工艺对IMD填充工艺的优化 | 李晋湘/马冰洋 | |||||||
9 | 朱邦涛 | 基于Python的模型数据测试中心芯片挑选方法的研究 | 李晋湘/马冰洋 | |||||||
10 | 杨明康 | 涂胶显影机的案例分析与FDC实践应用 | 李晋湘/马冰洋 | |||||||
11 | 闫一钒 | 国产ArF光刻胶性能验证方法与产业化应用研究 | 李晋湘/马冰洋 | |||||||
12 | 李旗 | 40nm 低功耗 CMOS 中离子注入等离子淋浴枪电荷中和技术研究 | 李晋湘/王颖 | |||||||
13 | 林欣贤 | 基于自对准硅化物技术Ni（pt） 在高温退火工艺变化的研究 | 李晋湘/王颖 | |||||||
14 | 吕旗旗 | 铜铝异种金属激光焊接工艺研究 | 杨淼森 | |||||||
15 | 齐晓冲 | 新能源汽车逆变器壳体FSW焊接工艺研究 | 张东 |
